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螺旋波等离子体
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Nanocrystalline silicon carbide (nc-SiC) thin films are deposited by the helicon wave plasma-enhanced chemical vapour deposition technique.
本工作利用螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术制备了纳米晶态SiC薄膜。
参考来源 - 纳米碳化硅光生载流子衰减特性研究
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